文件内容很简单。
兹有中科院计算技术研究所研究员陆沉同志,因国家重点项目需要,前往四川长虹电子集团借用光刻设备,请予以配合。
他的目光在研究员三个字上停留了很久,然后又看了看陆沉的脸。
这么年轻的研究员?!
“这……”老范把文件还回去,憋了半天憋出一句,“陆同志,你到底是搞啥子的?”
“搞计算机的,”陆沉说,“最近在做芯片散热。”
“芯片散热?”老范想了想,“就是我们彩电里那个集成块?”
“差不多。”
老范哦了一声,没再追问。
但他看陆沉的眼神已经不一样了。
这年头能拿到电子工业部红头文件的人,不管多大年纪,都不是凡人。
火车在第二天下午抵达成都。
陆沉和郑宝用走出站,一股湿润的盆地气息扑面而来。
成都的天灰蒙蒙的,空气里飘着麻辣烫和茉莉花茶的味道。
站前广场上拉客的三轮车夫操着川音喊破了嗓子,路边卖龙抄手的小摊热气腾腾。
长虹派了一辆吉普车来接。
司机是个精瘦的四川小伙,姓刘,一见面就热情地帮陆沉拎包:“陆工,欢迎欢迎!我们厂长本来要亲自来的,临时有个会,让我代他赔个不是。”
吉普车穿过CD市区,往绵阳方向开。
出了城,路两边是连绵的油菜花田,三月的川西坝子金灿灿的,像铺了一层金子。
两个小时后,车进了绵阳。
长虹的厂区比陆沉想象的要大得多,十几栋灰色的厂房整齐排列,围墙上刷着标语,产业报国,质量兴企。
厂区里停着一排排大卡车,车斗里装满了彩电,准备发往全国各地。
长虹的厂长姓倪,叫倪润峰。
这个人后来被称为中国彩电大王,但此刻他还只是一个在西南腹地兢兢业业做实业的中年厂长。
他的办公室在厂区最里面一栋三层小楼里,装修简朴,墙上挂着一幅中国地图和一幅长虹厂区规划图。
“陆工,久仰大名,”倪润峰握手很有力,“听钱老在电话里提过你,钱老说了,你要用光刻机,用,随便用,用多久都行。”
“谢谢倪厂长,”陆沉说,“不需要太久,三天够。”
“三天?”倪润峰愣了一下,随即又笑了,“行,你说三天就三天,小刘,带陆工去超净车间。”
超净车间在厂区的最东边,是一栋独立的白色建筑,门口挂着非请勿入的牌子。
小刘带着陆沉和郑宝用在更衣室换上了白色的无尘服,戴上口罩和头套,只露出一双眼睛。
郑宝用第一次穿无尘服,手忙脚乱地把口罩戴反了两次。
陆沉的动作却极其熟练,像是在这种环境里待过无数回。
三人穿过风淋室,厚重的金属门缓缓打开。
那台ASML PAS 2500光刻机出现在眼前。
它比陆沉预想的要大。
大约三米长,两米高,外壳是浅灰色的,控制台上密密麻麻的按钮和指示灯像星座一样排列。
在1993年的中国,这台机器就是工业制造领域的皇冠明珠——整个亚洲除了日本,没有几个地方有同级别的设备。
郑宝用站在光刻机前,嘴巴张了好几次都没合上。
他做集成电路设计做了五六年,从没见过真正的步进式光刻机。
华为用的还是接触式光刻,用紫外灯透过掩膜版直接照射硅片,精度只能做到几微米。
而眼前这台机器,精度是零点八微米。
“这机器……咱们得小心点用,”郑宝用的声音从口罩后面传出来,有点发闷。
陆沉却已经走到控制台前,开始检查参数。
他的手指在键盘上飞快地敲击,屏幕上的参数一行一行地跳出来。
曝光剂量、对准精度、焦深、步进距离。
每一个参数他都看得很仔细,像是在检查一台自己用过很多年的老机器。
小刘在旁边看得目瞪口呆。
他是这台光刻机的操作员,去年跟着荷兰工程师学了整整三个月才敢独立操作。
可眼前这个少年,动作比他这个老操作员还利索。
“陆工,您以前用过这种机器?”小刘忍不住问。
陆沉的手指顿了一下。
用过。
当然用过。
但不是在这个时代。
在上一个世界线里,他在28纳米工艺的ASML光刻机上跑过数以千计的流片。
那台机器比眼前这台先进了不知道多少代,但核心的光刻原理是一样的。
把设计图案从掩膜版转移到硅片上,用光做刻刀,一层一层地雕刻出集成电路的世界。
“算是吧,”他说,“现在开始做掩膜版,小刘,麻烦你准备空白硅片,郑工,把你的设计文件调出来,咱们对一遍参数。”
接下来的三天,超净车间的灯光几乎没有熄过。
陆沉白天在光刻机前调试参数,晚上回住处用笔记本电脑做仿真模拟。
他每天只睡三四个小时,剩下的时间全泡在车间里。
郑宝用撑了两天就扛不住了,在更衣室的长椅上歪着睡了一觉,醒来发现陆沉还在同一个位置上,手指在键盘上没停过。
最难的一步是刻蚀微流道。
按照陆沉的设计,微流道的宽度只有五微米,深度是三微米,流道之间的间距不到十微米。
这个精度对PAS 2500来说刚好在极限范围之内,但需要反复调整曝光剂量和显影时间。
多了,流道会塌。
少了,流道刻不深。
第一次试刻失败了。
流道塌了三分之一。
第二次调整参数,塌了五分之一。
第三次,陆沉把曝光剂量调低了百分之二,显影时间缩短了三秒。
硅片从显影槽里捞出来的时候,郑宝用的呼吸都停了。
流道整整齐齐地排列在硅片背面,间距均匀,边缘清晰。